无尘车间包括洁净区、准洁净区和辅助区三部分。平面布置可以有以下方式：

1、核心式：主要体现在节省空间和缩短管线上，以洁净区为核心，周围布置辅助用房和隐蔽管道，遥开了室外温度对洁净区的影响，可提高节能。

2、两端式：洁净区和准洁净区、辅助用房各设在两边。

3、内廊式：无尘车间布置在外围，走廊布置在内部，可提高洁净度，这种走廊的洁净度级别与无尘车间洁净度级别不相上下。

4、外廊环绕式：外廊可以有窗与无窗兼顾，既能方便客户参观也能放置设备，外窗要求为双层密封窗。

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